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國研院儀科中心累積40多年光學與真空

2018/9/6 上午 09:36:51


社长高国清 國研院儀科中心累積40多年光學與真空技術能量,於台北南港展覽館舉行之「SEMICON Taiwan 台灣國際半導體展」會場展示已通過半導體製程實際驗證之曝光機關鍵零組件,並展現原子層沉積技術的自主研發成果與客製服務績效,新聞稿請見附件檔,現場照片請上網
https://drive.narlabs.org.tw/navigate/s/ECB08DB85C0F4288A448C0C6ADCC3165GUY

國家實驗研究院
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